Azərbaycanca
Беларускі
Dansk
Deutsch
Española
Français
Indonesia
Italiana
日本語
Қазақ
Lietuvos
Nederlands
Português
Русский
සිංහල
แบบไทย
Türkçe
Українська
中國人
United State
Afrikaans
П'єзодвигун ( Ультразвуковий двигун , Ультразвуковий мотор , П'єзомагнітний двигун , П'єзоелектричний двигун), (англ. USM - Ultra Sonic Motor , SWM - Silent Wave Motor , HSM - Hyper Sonic Motor , SDM - Supersonic Direct - drive Motor та ін) - двигун , у якому робочим елементом є , завдяки якій він здатний перетворити електричну енергію у механічну з дуже великим ККД, що перевищує в окремих випадках 90%. Це дозволяє отримувати унікальні прилади, в яких електричні коливання перетворюються в обертальний рух ротора, до того-ж, обертовий момент, що розвивається на валу такого двигуна настільки великий, що виключає потребу застосування механічного редуктора для підвищення обертового моменту. Так само даний двигун має випрямні властивості гладкого фрикційного контакту. Ці властивості проявляються і на звукових частотах. Такий контакт є аналогом електричного випрямного діода. Тому ультразвуковий двигун можна віднести до фрикційних електромоторів.
Історія створення і застосування
1947 року було отримано перші керамічні зразки титанату барію і, вже з цього часу виробництво п'єзоелектричних двигунів стало теоретично можливим. Але перший такий двигун з'явився лише за 20 років. Вивчаючи п'єзоелектричні трансформатори у силових режимах, співробітник Київського політехнічного інституту В.В. Лавриненко виявив обертання одного з них у тримачі. Розібравшись у причині цього явища, він 1964 року створив перший п'єзоелектричний обертальний двигун, а відтак і лінійний двигун для приводу реле. За першим двигуном з прямим фрикційним контактом, він створює групи нереверсивних двигунів з механічним зв'язком п'єзоелемента з ротором через штовхачі. На цій основі він пропонує десятки конструкцій нереверсивних двигунів, що перекривають діапазон швидкостей від 0 до 10 000 об/хв і діапазон моментів обертання від 0 до 100 Нм. Використовуючи два нереверсивних двигуни, Лавриненко оригінально вирішує проблему реверсу. Інтегрально на валу одного двигуна він встановлює другий двигун. Проблему ресурсу двигуна він вирішує, збуджуючи кобертальні коливання в п'єзоелементі.
На десятиліття випереджаючи подібні роботи у країні та за кордоном, Лавриненко розробив практично усі основні принципи побудови п'єзоелектричних двигунів, не виключивши й можливість роботи їх у режимі генераторів електричної енергії.
Враховуючи перспективність розробки, Лавриненко спільно зі співавторами, що допомагали йому реалізувати його двигун, захищає численні авторські свідоцтва і патенти. У Київському Політехнічному інституті створюється галузева лабораторія п'єзоелектричних двигунів під керівництвом Лавриненка, організовується перше у світі серійне виробництво п'єзодвигунів для відеомагнітофона «Електроніка-552». У подальшому, серійно виробляються двигуни для діапроєкторів «Дніпро-2», кінокамер, приводів кульових кранів та інших. 1980 року видавництво «Енергія» друкує першу книгу про п'єзоелектричні двигуни, отже до них з'являється інтерес. Починаються активні розробки п'єзодвигунів у Каунаському політехнічному інституті під керівництвом проф. Рагульскіса К. М. Вишневський В.С., у минулому аспірант Лавриненка, виїжджає до Німеччини, де продовжує роботу з впровадження лінійних п'єзоелектричних двигунів на фірмі PHyzical Instryment. Поступове вивчення та розробка п'єзоелектричних двигунів, виходить за межі СРСР. У Японії та Китаї активно розробляються та впроваджуються хвильові двигуни, в Америці - надмініатюрні двигуни обертання.
Конструкція
Ультразвуковий двигун має значно менші габарити і масу у порівнянні з аналогічним за силовими характеристиками, електромагнітним двигуном. Відсутність обмоток, вимочених в клейовому розчині, робить його придатним для використання в умовах вакууму. Ультразвуковий двигун має значний момент самогальмування (до 50% від величини максимального обертального моменту) за відсутності напруги живлення за рахунок своїх конструктивних особливостей. Це дозволяє забезпечувати дуже малі дискретні кутові переміщення (від одиниць кутових секунд) без застосування будь-яких спеціальних заходів. Цю властивість пов'язано з квазінеперервним характером роботи п'єзодвигуна. Дійсно, п'єзоелемент, який перетворює електричні коливання у механічні, споживає не постійну, а змінну напругу резонансної частоти. У разі подачі одного або двох імпульсів, можна отримати дуже маленьке кутове переміщення ротора. Наприклад, деякі зразки ультразвукових двигунів, що мають резонансну частоту 2 МГц і робочу частоту обертання 0,2-6 об/сек , за подачі одиночного імпульсу на обкладки п'єзоелемента дадуть в ідеальному випадку кутове переміщення ротора в 1/9.900.000-1/330.000 від величини кола, тобто 0,13-3,9 кутових секунд.
Одним із серйозних недоліків такого двигуна є значна чутливість до потрапляння у нього твердих речовин (наприклад піску). З іншого боку , п'єзодвигуни можуть працювати у рідкому середовищі, наприклад у воді або у маслі.
Принцип роботи лінійного п'єзодвигуна, працюючого на періодичному зачепленні
На «гнучкий» статор (тонка біморфна пластина, чим тонша пластина, тим більше амплітуда коливань і тим нижче частота резонансу) «подають» змінну напругу високої частоти , яке змушує його виробляти ультразвукові коливання, що формують механічну біжучу хвилю, яка і штовхає (зачіпляє) розташований поруч ротор. Під час руху ліворуч, штовхач - розклинює, а у разі руху праворуч - заклинює. На цьому принципі працюють усі п'єзоелектричні мотори зі штовхачами. Збільшуючи число штовхачів можна створювати мотори з величезними пусковими моментами.
Простота принципу складна в реалізації . І якщо звичайний електродвигун можна зробити практично «на коліні», ультразвукової двигун з високим ККД 80-90% без складного обладнання не створити . Але якщо знехтувати ККД (отримаємо 50-60%) ми можемо створити ультразвуковий двигун у домашніх умовах. Для цього як ротор можна взяти шарикопідшипник і притиснути до нього п'єзопластину з узгодженими розмірами.
Принцип роботи обертального п'єзодвигуна, що працює за допомогою тертя
В основі роботи п'єзоелектричних обертальних двигунів лежить принцип, згідно з яким всі точки п'єзоелементу, що входять в контакт з ротором, повинні рухатися за траєкторіями близькими до еліптичної. Для цього в п'єзоелементі одночасно збуджують два типи взаємно ортогональних коливань. Це може бути будь-яке поєднання взаємно поперечних поздовжніх, згинальних, зсувних й крутильних коливань. Важливим є лише те, що ці коливання не повинні бути механічно пов'язаними, тобто енергія з одного коливання не повинна переходити в інше коливання. Якщо коливання механічно незв'язані, то між ними можна отримати будь-який зсув фаз. А оптимальним для п'єзоелектричних моторів є зсув фази рівний 90 градусів. Проблему ресурсу Лавриненко вирішує таким способом: він використовує властивість нахиленої та притиснутої до гладкої поверхні пластини, змінювати зусилля притиску під час руху в одну і протилежну сторону.
Переваги п`єзодвигунів
Однією з найбільш важливих переваг даного типу двигуна є те, що для будь-якої швидкості обертання можливий прямий привід. У конструктивному відношенні значно спрощується привід і у низці випадків істотно зростає ККД, який «з'їдає» редуктор. Саме ця властивість, дозволила розробляти приводи кульових кранів з будь-яким прохідним перетином та здійснити їх серійне виробництво.
За швидкодією, п'єзоелектричним моторам немає рівних. Це пов'язано з тим, що їх потужність не залежить від маси ротора, як це відбувається для електромагнітних моторів. За частки мілісекунди вони набирають потрібну швидкість і можуть конкурувати навіть з дорогими п'єзоелектричними актюаторами, наприклад, для паливних інжекторів.
Мінімальний крок п'єзомоторів може становити тисячні частки кутової секунди. На їх основі створюються напрямні для мікроскопів, що працюють у нанометровому діапазоні. Для побутових низькообертових приладів, через відсутність редуктора, вони безшумні і не виділяють запаху від підгорілих обмоток, яких у них немає. Загальмованість ротора у відключеному стані, пластичність форми, здатність інтегрально вписуватися у виріб, також бувають корисними.
П'єзоелектричні мотори можуть повністю виготовлятися з немагнітних матеріалів. Деякі з них можуть працювати в умовах високих температур (аж до 300 градусів Цельсія), у вакуумі, у сильних магнітних полях, в умовах підвищеної радіації, за занурення у воду чи мастило.
Застосування
Ультразвуковий двигун може з успіхом використовуватися у тих областях техніки, де потрібно досягнення мінімальних кутових і лінійних переміщень . Наприклад, в астрономії, у космічних дослідженнях, де потрібне точне орієнтування за досить малими об'єктами (зірками); у прискорювачах заряджених частинок, де треба утримувати пучок у заданих геометричних координатах; у наукових дослідженнях у разі вивчення кристалографічної структури (орієнтування головки гоніометра); у робототехніці тощо.
На основі п'єзоелектричних моторів розроблялися: приводи антен і камер спостереження, електробритви, приводи ріжучого інструменту, стрічкопротяжні механізми, баштові вуличні годинники, низькообертові (2 об/хв) приводи рекламних платформ, електродрилі, приводи дитячих іграшок і рухливих протезів, стельові вентилятори, приводи роботів та інше.
Хвильові п'єзоелектричні мотори також використовуються в об'єктивах для одно-об'єктивних дзеркальних фотоапаратів. Варіації назви технології в таких об'єктивах різних виробників:
Canon - USM , UltraSonic Motor;
Minolta , Sony - SSM , SuperSonic Motor;
Nikon - SWM , Silent Wave Motor;
Olympus - SWD , Supersonic Wave Drive;
Panasonic - XSM , Extra Silent Motor;
Pentax - SDM , Supersonic Drive Motor;
Sigma - HSM , Hyper Sonic Motor;
Tamron - USD , Ultrasonic Silent Drive , PZD , Piezo Drive.
У верстатобудуванні такі двигуни застосовуються для надточного позиціонування ріжучого інструменту.
Література
- Авторское свидетельство № 217509 «Электрический двигатель», авт. Лавриненко В. В., Некрасов М. М. по заявке № 1006424 с приор. от 10 мая 1965 г.
- США, Патент № 4.019.073, 1975 р.
- США, Патент № 4.453.103, 1982 р.
- США, Патент № 4.400.641, 1982 р.
- Пьезоэлектрические двигатели. В,В,Лавриненко, И. А. Карташев, В. С. Вишневский. Изд."Энергия" 1980 г.
- Вибродвигатели. Р. Ю. Бансявичюс,К. М. Рагульскис. Изд. «Мокслас» 1981 г.
- Survey of the variousoperating principles of ultrasonicpiezomotors. K.Spanner, White Paper for ACTUATOR 2006.
- Принципы построения пьезоэлектрических моторов. В. Лавриненко, , , вид. «Lambert», 2015, 236с.
Посилання
- ULTRASONIC MOTOR
- Ultrasonic Actuators, Motors and Sensors
- Ultrasonic Linear Motor
- speed control for ultrasonic motors
- picture of ultrasonic motor[недоступне посилання з квітня 2019]
Вікіпедія, Українська, Україна, книга, книги, бібліотека, стаття, читати, завантажити, безкоштовно, безкоштовно завантажити, mp3, відео, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, малюнок, музика, пісня, фільм, книга, гра, ігри, мобільний, телефон, android, ios, apple, мобільний телефон, samsung, iphone, xiomi, xiaomi, redmi, honor, oppo, nokia, sonya, mi, ПК, web, Інтернет
P yezodvigun Ultrazvukovij dvigun Ultrazvukovij motor P yezomagnitnij dvigun P yezoelektrichnij dvigun angl USM Ultra Sonic Motor SWM Silent Wave Motor HSM Hyper Sonic Motor SDM Supersonic Direct drive Motor ta in dvigun u yakomu robochim elementom ye zavdyaki yakij vin zdatnij peretvoriti elektrichnu energiyu u mehanichnu z duzhe velikim KKD sho perevishuye v okremih vipadkah 90 Ce dozvolyaye otrimuvati unikalni priladi v yakih elektrichni kolivannya peretvoryuyutsya v obertalnij ruh rotora do togo zh obertovij moment sho rozvivayetsya na valu takogo dviguna nastilki velikij sho viklyuchaye potrebu zastosuvannya mehanichnogo reduktora dlya pidvishennya obertovogo momentu Tak samo danij dvigun maye vipryamni vlastivosti gladkogo frikcijnogo kontaktu Ci vlastivosti proyavlyayutsya i na zvukovih chastotah Takij kontakt ye analogom elektrichnogo vipryamnogo dioda Tomu ultrazvukovij dvigun mozhna vidnesti do frikcijnih elektromotoriv Istoriya stvorennya i zastosuvannya1947 roku bulo otrimano pershi keramichni zrazki titanatu bariyu i vzhe z cogo chasu virobnictvo p yezoelektrichnih dviguniv stalo teoretichno mozhlivim Ale pershij takij dvigun z yavivsya lishe za 20 rokiv Vivchayuchi p yezoelektrichni transformatori u silovih rezhimah spivrobitnik Kiyivskogo politehnichnogo institutu V V Lavrinenko viyaviv obertannya odnogo z nih u trimachi Rozibravshis u prichini cogo yavisha vin 1964 roku stvoriv pershij p yezoelektrichnij obertalnij dvigun a vidtak i linijnij dvigun dlya privodu rele Za pershim dvigunom z pryamim frikcijnim kontaktom vin stvoryuye grupi nereversivnih dviguniv z mehanichnim zv yazkom p yezoelementa z rotorom cherez shtovhachi Na cij osnovi vin proponuye desyatki konstrukcij nereversivnih dviguniv sho perekrivayut diapazon shvidkostej vid 0 do 10 000 ob hv i diapazon momentiv obertannya vid 0 do 100 Nm Vikoristovuyuchi dva nereversivnih dviguni Lavrinenko originalno virishuye problemu reversu Integralno na valu odnogo dviguna vin vstanovlyuye drugij dvigun Problemu resursu dviguna vin virishuye zbudzhuyuchi kobertalni kolivannya v p yezoelementi Na desyatilittya viperedzhayuchi podibni roboti u krayini ta za kordonom Lavrinenko rozrobiv praktichno usi osnovni principi pobudovi p yezoelektrichnih dviguniv ne viklyuchivshi j mozhlivist roboti yih u rezhimi generatoriv elektrichnoyi energiyi Vrahovuyuchi perspektivnist rozrobki Lavrinenko spilno zi spivavtorami sho dopomagali jomu realizuvati jogo dvigun zahishaye chislenni avtorski svidoctva i patenti U Kiyivskomu Politehnichnomu instituti stvoryuyetsya galuzeva laboratoriya p yezoelektrichnih dviguniv pid kerivnictvom Lavrinenka organizovuyetsya pershe u sviti serijne virobnictvo p yezodviguniv dlya videomagnitofona Elektronika 552 U podalshomu serijno viroblyayutsya dviguni dlya diaproyektoriv Dnipro 2 kinokamer privodiv kulovih kraniv ta inshih 1980 roku vidavnictvo Energiya drukuye pershu knigu pro p yezoelektrichni dviguni otzhe do nih z yavlyayetsya interes Pochinayutsya aktivni rozrobki p yezodviguniv u Kaunaskomu politehnichnomu instituti pid kerivnictvom prof Ragulskisa K M Vishnevskij V S u minulomu aspirant Lavrinenka viyizhdzhaye do Nimechchini de prodovzhuye robotu z vprovadzhennya linijnih p yezoelektrichnih dviguniv na firmi PHyzical Instryment Postupove vivchennya ta rozrobka p yezoelektrichnih dviguniv vihodit za mezhi SRSR U Yaponiyi ta Kitayi aktivno rozroblyayutsya ta vprovadzhuyutsya hvilovi dviguni v Americi nadminiatyurni dviguni obertannya KonstrukciyaUltrazvukovij dvigun maye znachno menshi gabariti i masu u porivnyanni z analogichnim za silovimi harakteristikami elektromagnitnim dvigunom Vidsutnist obmotok vimochenih v klejovomu rozchini robit jogo pridatnim dlya vikoristannya v umovah vakuumu Ultrazvukovij dvigun maye znachnij moment samogalmuvannya do 50 vid velichini maksimalnogo obertalnogo momentu za vidsutnosti naprugi zhivlennya za rahunok svoyih konstruktivnih osoblivostej Ce dozvolyaye zabezpechuvati duzhe mali diskretni kutovi peremishennya vid odinic kutovih sekund bez zastosuvannya bud yakih specialnih zahodiv Cyu vlastivist pov yazano z kvazineperervnim harakterom roboti p yezodviguna Dijsno p yezoelement yakij peretvoryuye elektrichni kolivannya u mehanichni spozhivaye ne postijnu a zminnu naprugu rezonansnoyi chastoti U razi podachi odnogo abo dvoh impulsiv mozhna otrimati duzhe malenke kutove peremishennya rotora Napriklad deyaki zrazki ultrazvukovih dviguniv sho mayut rezonansnu chastotu 2 MGc i robochu chastotu obertannya 0 2 6 ob sek za podachi odinochnogo impulsu na obkladki p yezoelementa dadut v idealnomu vipadku kutove peremishennya rotora v 1 9 900 000 1 330 000 vid velichini kola tobto 0 13 3 9 kutovih sekund Odnim iz serjoznih nedolikiv takogo dviguna ye znachna chutlivist do potraplyannya u nogo tverdih rechovin napriklad pisku Z inshogo boku p yezodviguni mozhut pracyuvati u ridkomu seredovishi napriklad u vodi abo u masli Princip roboti linijnogo p yezodviguna pracyuyuchogo na periodichnomu zacheplenniNa gnuchkij stator tonka bimorfna plastina chim tonsha plastina tim bilshe amplituda kolivan i tim nizhche chastota rezonansu podayut zminnu naprugu visokoyi chastoti yake zmushuye jogo viroblyati ultrazvukovi kolivannya sho formuyut mehanichnu bizhuchu hvilyu yaka i shtovhaye zachiplyaye roztashovanij poruch rotor Pid chas ruhu livoruch shtovhach rozklinyuye a u razi ruhu pravoruch zaklinyuye Na comu principi pracyuyut usi p yezoelektrichni motori zi shtovhachami Zbilshuyuchi chislo shtovhachiv mozhna stvoryuvati motori z velicheznimi puskovimi momentami Prostota principu skladna v realizaciyi I yaksho zvichajnij elektrodvigun mozhna zrobiti praktichno na kolini ultrazvukovoyi dvigun z visokim KKD 80 90 bez skladnogo obladnannya ne stvoriti Ale yaksho znehtuvati KKD otrimayemo 50 60 mi mozhemo stvoriti ultrazvukovij dvigun u domashnih umovah Dlya cogo yak rotor mozhna vzyati sharikopidshipnik i pritisnuti do nogo p yezoplastinu z uzgodzhenimi rozmirami Princip roboti obertalnogo p yezodviguna sho pracyuye za dopomogoyu tertyaP yezodvigun obertannya P yezoelement z dvoma parami elektrodiv V osnovi roboti p yezoelektrichnih obertalnih dviguniv lezhit princip zgidno z yakim vsi tochki p yezoelementu sho vhodyat v kontakt z rotorom povinni ruhatisya za trayektoriyami blizkimi do eliptichnoyi Dlya cogo v p yezoelementi odnochasno zbudzhuyut dva tipi vzayemno ortogonalnih kolivan Ce mozhe buti bud yake poyednannya vzayemno poperechnih pozdovzhnih zginalnih zsuvnih j krutilnih kolivan Vazhlivim ye lishe te sho ci kolivannya ne povinni buti mehanichno pov yazanimi tobto energiya z odnogo kolivannya ne povinna perehoditi v inshe kolivannya Yaksho kolivannya mehanichno nezv yazani to mizh nimi mozhna otrimati bud yakij zsuv faz A optimalnim dlya p yezoelektrichnih motoriv ye zsuv fazi rivnij 90 gradusiv Problemu resursu Lavrinenko virishuye takim sposobom vin vikoristovuye vlastivist nahilenoyi ta pritisnutoyi do gladkoyi poverhni plastini zminyuvati zusillya pritisku pid chas ruhu v odnu i protilezhnu storonu Perevagi p yezodvigunivOdniyeyu z najbilsh vazhlivih perevag danogo tipu dviguna ye te sho dlya bud yakoyi shvidkosti obertannya mozhlivij pryamij privid U konstruktivnomu vidnoshenni znachno sproshuyetsya privid i u nizci vipadkiv istotno zrostaye KKD yakij z yidaye reduktor Same cya vlastivist dozvolila rozroblyati privodi kulovih kraniv z bud yakim prohidnim peretinom ta zdijsniti yih serijne virobnictvo Za shvidkodiyeyu p yezoelektrichnim motoram nemaye rivnih Ce pov yazano z tim sho yih potuzhnist ne zalezhit vid masi rotora yak ce vidbuvayetsya dlya elektromagnitnih motoriv Za chastki milisekundi voni nabirayut potribnu shvidkist i mozhut konkuruvati navit z dorogimi p yezoelektrichnimi aktyuatorami napriklad dlya palivnih inzhektoriv Minimalnij krok p yezomotoriv mozhe stanoviti tisyachni chastki kutovoyi sekundi Na yih osnovi stvoryuyutsya napryamni dlya mikroskopiv sho pracyuyut u nanometrovomu diapazoni Dlya pobutovih nizkoobertovih priladiv cherez vidsutnist reduktora voni bezshumni i ne vidilyayut zapahu vid pidgorilih obmotok yakih u nih nemaye Zagalmovanist rotora u vidklyuchenomu stani plastichnist formi zdatnist integralno vpisuvatisya u virib takozh buvayut korisnimi P yezoelektrichni motori mozhut povnistyu vigotovlyatisya z nemagnitnih materialiv Deyaki z nih mozhut pracyuvati v umovah visokih temperatur azh do 300 gradusiv Celsiya u vakuumi u silnih magnitnih polyah v umovah pidvishenoyi radiaciyi za zanurennya u vodu chi mastilo ZastosuvannyaUltrazvukovij dvigun mozhe z uspihom vikoristovuvatisya u tih oblastyah tehniki de potribno dosyagnennya minimalnih kutovih i linijnih peremishen Napriklad v astronomiyi u kosmichnih doslidzhennyah de potribne tochne oriyentuvannya za dosit malimi ob yektami zirkami u priskoryuvachah zaryadzhenih chastinok de treba utrimuvati puchok u zadanih geometrichnih koordinatah u naukovih doslidzhennyah u razi vivchennya kristalografichnoyi strukturi oriyentuvannya golovki goniometra u robototehnici tosho Na osnovi p yezoelektrichnih motoriv rozroblyalisya privodi anten i kamer sposterezhennya elektrobritvi privodi rizhuchogo instrumentu strichkoprotyazhni mehanizmi bashtovi vulichni godinniki nizkoobertovi 2 ob hv privodi reklamnih platform elektrodrili privodi dityachih igrashok i ruhlivih proteziv stelovi ventilyatori privodi robotiv ta inshe Hvilovi p yezoelektrichni motori takozh vikoristovuyutsya v ob yektivah dlya odno ob yektivnih dzerkalnih fotoaparativ Variaciyi nazvi tehnologiyi v takih ob yektivah riznih virobnikiv Canon USM UltraSonic Motor Minolta Sony SSM SuperSonic Motor Nikon SWM Silent Wave Motor Olympus SWD Supersonic Wave Drive Panasonic XSM Extra Silent Motor Pentax SDM Supersonic Drive Motor Sigma HSM Hyper Sonic Motor Tamron USD Ultrasonic Silent Drive PZD Piezo Drive U verstatobuduvanni taki dviguni zastosovuyutsya dlya nadtochnogo pozicionuvannya rizhuchogo instrumentu LiteraturaAvtorskoe svidetelstvo 217509 Elektricheskij dvigatel avt Lavrinenko V V Nekrasov M M po zayavke 1006424 s prior ot 10 maya 1965 g SShA Patent 4 019 073 1975 r SShA Patent 4 453 103 1982 r SShA Patent 4 400 641 1982 r Pezoelektricheskie dvigateli V V Lavrinenko I A Kartashev V S Vishnevskij Izd Energiya 1980 g Vibrodvigateli R Yu Bansyavichyus K M Ragulskis Izd Mokslas 1981 g Survey of the variousoperating principles of ultrasonicpiezomotors K Spanner White Paper for ACTUATOR 2006 Principy postroeniya pezoelektricheskih motorov V Lavrinenko ISBN 978 3 659 51406 7 ISBN 3659514063 vid Lambert 2015 236s PosilannyaULTRASONIC MOTOR Ultrasonic Actuators Motors and Sensors Ultrasonic Linear Motor speed control for ultrasonic motors picture of ultrasonic motor nedostupne posilannya z kvitnya 2019