Електро́нно-промене́ва обро́бка (англ. electron-beam processing) — широкий спектр процесів (технологій), пов'язаних з використанням енергії пучків прискорених електронів.
Види електронно-променевої обробки
Розрізняють термічну та нетермічну обробку. До термічних процесів відносяться плавлення, зварювання, термообробка обмежених зон, свердління, мікрофрезерування, переплав поверхневих шарів, гравіювання, пайка, напилення. До нетермічних належать нехімічне затвердіння полімерів, стерилізація та активація поверхонь матеріалів, запис інформації (в тому числі голограм), електронна літографія, виробництво багатошарових структур.
Використання
Електронно-променевим плавленням одержують особливо чисті метали і сплави; випаровуванням металевих і неметалевих матеріалів (окисів, карбідів, боридів) з дальшою роздільною або сумісною конденсацією їх одержують покриття різного призначення (декоративні чи з певними фізико-хімічними властивостями). Електронно-променева термообробка (наприклад, відпал) надає матеріалам потрібної структури; розмірна обробка (наприклад, високоточне свердління або фрезерування) — заданої форми і розмірів. Як джерело електронних пучків використовують спеціальні генератори — електронно-променеві гармати, що є складовою частиною електронно-технологічних установок (або електронно-променевих печей у разі плавлення матеріалів). Електрони випромінюються при нагріванні катода (з вольфраму, танталу) та прискорюються у високовольтному електричному полі між анодом і катодом. Відомі дві принципово різні системи плавильних електронних гармат: без прискорювального анода (з кільцевим катодом з вольфрамового дроту; як анод використовують метал, що розплавляється) та з анодами різного типу.
Електронно-променеві технології застосовують у металургії, машинобудуванні, радіоелектроніці тощо.
Історична довідка
Знач. внесок у відкриття та вивчення енергетичних ефектів електронного променя зробили англійські учені В. Гроувс (нагрівання металів прискореним магніт. полем пучків електронів, 1852), В. Крукс (перенесення променями енергії й імпульсів, плавлення платинового анода, 1879), Дж.-Дж. Томсон (відслонення потоку електронів магніт. полем, 1897), американський фізик Р.-Е. Міллікен (точне визначення зарядів електронів, 1905).
В 1905 році вперше використав потік електронів у вакуумі для виплавки металів, але швидкий розвиток електронно-променевої обробки став можливий лише після того, як пучок електронів сфокусували. Цього досягнули та в 1934 році. Практичне впровадження у промисловість почалось з 1960-их років. З 1970-их років почалось масове застосування нетермічних процесів.
В СРСР вперше розробки таких процесів проводили А. Н. Кабанов, Н. А. Ольшанський, М. М. Рикалін. В Удмуртії впровадження процесів електронно-променевої обробки почалось з 1964 року для зварювання високоміцних та активних металів. НДТІ «Прогрес» разом з спеціалістами із Москви та Санкт-Петербурга створили багатофункціональне обладнання для електронно-променевого зварювання та обробки. Були модернізовані установки на Воткінському машинобудівному заводі та АТ «Іжмаш», розроблені та впроваджені процеси зварювання титанових та алюмінієвих сплавів, високоміцної сталі, зварювання та локальної термообробки деталей після фінішної обробки. (місто Глазов) впроваджена технологія електронно-променевого зварювання з локальною термообробкою, електронно-променевого вакуумної переплавки металів, високовиробничого обладнання для цих процесів. На 1995 рік на 6 провідних підприємствах Удмуртії електронно-променева обробка ефективно використовувалась для прецизійного зварювання та локальної термообробки. На заводі «Пластмас» (місто Іжевськ) впроваджено електронно-променеву обробку . Суттєвий внесок в розробку та впровадження технології та обладнання електронно-променевої обробки на підприємствах Удмуртії внесли В. І. Бєлов, В. І. Фролов (Глазов), Л. В. Ляшенко, В. Н. Смірнов (НДТІ «Прогрес»), В. А. Золотов, С. Г. Петін (Воткінськ), Ю. Н. Вдовін (Іжевськ).
Внесок вчених України у розвиток технології
В Україні дослідження електронно-променевих процесів і розроблення устаткування для таких видів електронно-променевих технологій, як зварювання, плавлення, випаровування, розпочато від середини 1950-х рр. в Інституті електрозварювання НАН України (ІЕЗ). 1971 у ньому створили першу лабораторну установку для електронно-променевого плавлення (О. Тихоновський, М. Тригуб), згодом промислові установки декількох типів з виготовлення високоякісних корозієстійких та інших типів сталей, титану були впроваджені на підприємствах України та низки інших країн (М. Жадкевич).
Українські вчені розробили процеси електронно-променевого випаровування з наступною конденсацією на поверхні виробу для отримання жаростійких багатокомпонентних покриттів (хром–алюміній–ітрій), сплавів на основі нікелю, кобальту (І. Малашенко, Б. Мовчан). Нині на основі високошвидкісного електронно-променевого випаровування речовин і осадження парової фази у вакуумі розвиваються нові напрями одержання неорганічних матеріалів з аморфною, нано- і мікророзмірною запрограмованою структурою і складом; гібридні технологічні процеси, що включають іонізацію парового потоку основного компонента або введення в нього органічних добавок, зокрема для одержання нано-трубок і алмазоподібних структур (Б. Мовчан, А. Устинов).
Під керівництвом Б. Патона в ІЕЗ вперше в світі створено електронно-променеве устаткування для виконання експериментів і ремонтних робіт на літальних космічних апаратах (Д. Дудко, В. Лапчинський, В. Патон, І. Походня): «Вулкан» (зварювання й різання, 1969; космічний корабель «Союз-6»), «Випарник» і «Випарник-М» (нанесення покриттів на метали і скло, 1979–80; орбітальна станція «Салют-6»), «УРІ» (різання, зварювання, паяння та нанесення покриттів на метали і скло у відкритому космічному просторі, 1984; орбітальна станція «Салют-7»). У ІЕЗ відповідні гармати розроблено й для безтигельного зонного плавлення матеріалів дискретним електронним пучком. 1980–90 на космічних апаратах для матеріалознавчих експериментів, зокрема отримання надчистих металів і композиційних матеріалів, використовували електронно-променеві установки «Янтар», «Універсал» тощо. У співпраці з російським ракетно-космічним комплексом «Енергія» (О. Марков, В. Нікитський) в ІЕЗ (Ю. Асніс, О. Загребельний, В. Лапчинський, В. Хорунов) створено низку нових технологій з’єднання й ремонту космічних конструкцій, типів з’єднань та надійних оптимальних конструкцій електронно-променевих установок. Електронно-променеві гармати, розроблені ІЕЗ (Ю. Ланкін, О. Назаренко, В. Шелягін) та спільно з Інститутом електродинаміки НАН України (Ю. Дроботов), застосовано як інжектори електронних променів під час вивчення явищ у стратосфері й іоносфері, зокрема спільному радянсько-французькому експерименті зі створення штучних полярних сяйв «Аракс» (1974–75), у геофізичних експериментах «Зірниця».
Примітки
- «Електроннопроменева технологія» [ 9 листопада 2016 у Wayback Machine.] // Українська радянська енциклопедія : у 12 т. / гол. ред. М. П. Бажан ; редкол.: О. К. Антонов та ін. — 2-ге вид. — К. : Головна редакція УРЕ, 1974–1985.
- «Електронно-променева технологія» [ 10 листопада 2016 у Wayback Machine.] // Енциклопедія сучасної України / ред. кол.: І. М. Дзюба [та ін.] ; НАН України, НТШ. — К. : Інститут енциклопедичних досліджень НАН України, 2001–2023. — .
Джерела
- Аброян И. А., Андронов А. Н., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. М., 1984.
- Удмуртская республика : энциклопедия / гл. ред. В. В. Туганаев. — Ижевск : Удмуртия, 2000. — 800 с. — 20 000 экз. — .
- Мовчан Б. А., Тихоновский А. Л., Курапов Ю. А. Электроннолучевая плавка и рафинирование металлов и сплавов. — К.: Наукова думка, 1973. — 238 с.
- Патон Б. Е., Тригуб Н. П., Ахонин С. В. Электронно-лучевая плавка тугоплавких и высокореакционных металлов. — К.: Наук. думка, 2008. — 312 с.
Вікіпедія, Українська, Україна, книга, книги, бібліотека, стаття, читати, завантажити, безкоштовно, безкоштовно завантажити, mp3, відео, mp4, 3gp, jpg, jpeg, gif, png, малюнок, музика, пісня, фільм, книга, гра, ігри, мобільний, телефон, android, ios, apple, мобільний телефон, samsung, iphone, xiomi, xiaomi, redmi, honor, oppo, nokia, sonya, mi, ПК, web, Інтернет
Elektro nno promene va obro bka angl electron beam processing shirokij spektr procesiv tehnologij pov yazanih z vikoristannyam energiyi puchkiv priskorenih elektroniv Vidi elektronno promenevoyi obrobkiRozriznyayut termichnu ta netermichnu obrobku Do termichnih procesiv vidnosyatsya plavlennya zvaryuvannya termoobrobka obmezhenih zon sverdlinnya mikrofrezeruvannya pereplav poverhnevih shariv graviyuvannya pajka napilennya Do netermichnih nalezhat nehimichne zatverdinnya polimeriv sterilizaciya ta aktivaciya poverhon materialiv zapis informaciyi v tomu chisli gologram elektronna litografiya virobnictvo bagatosharovih struktur VikoristannyaElektronno promenevim plavlennyam oderzhuyut osoblivo chisti metali i splavi viparovuvannyam metalevih i nemetalevih materialiv okisiv karbidiv boridiv z dalshoyu rozdilnoyu abo sumisnoyu kondensaciyeyu yih oderzhuyut pokrittya riznogo priznachennya dekorativni chi z pevnimi fiziko himichnimi vlastivostyami Elektronno promeneva termoobrobka napriklad vidpal nadaye materialam potribnoyi strukturi rozmirna obrobka napriklad visokotochne sverdlinnya abo frezeruvannya zadanoyi formi i rozmiriv Yak dzherelo elektronnih puchkiv vikoristovuyut specialni generatori elektronno promenevi garmati sho ye skladovoyu chastinoyu elektronno tehnologichnih ustanovok abo elektronno promenevih pechej u razi plavlennya materialiv Elektroni viprominyuyutsya pri nagrivanni katoda z volframu tantalu ta priskoryuyutsya u visokovoltnomu elektrichnomu poli mizh anodom i katodom Vidomi dvi principovo rizni sistemi plavilnih elektronnih garmat bez priskoryuvalnogo anoda z kilcevim katodom z volframovogo drotu yak anod vikoristovuyut metal sho rozplavlyayetsya ta z anodami riznogo tipu Elektronno promenevi tehnologiyi zastosovuyut u metalurgiyi mashinobuduvanni radioelektronici tosho Istorichna dovidkaZnach vnesok u vidkrittya ta vivchennya energetichnih efektiv elektronnogo promenya zrobili anglijski ucheni V Grouvs nagrivannya metaliv priskorenim magnit polem puchkiv elektroniv 1852 V Kruks perenesennya promenyami energiyi j impulsiv plavlennya platinovogo anoda 1879 Dzh Dzh Tomson vidslonennya potoku elektroniv magnit polem 1897 amerikanskij fizik R E Milliken tochne viznachennya zaryadiv elektroniv 1905 V 1905 roci vpershe vikoristav potik elektroniv u vakuumi dlya viplavki metaliv ale shvidkij rozvitok elektronno promenevoyi obrobki stav mozhlivij lishe pislya togo yak puchok elektroniv sfokusuvali Cogo dosyagnuli ta v 1934 roci Praktichne vprovadzhennya u promislovist pochalos z 1960 ih rokiv Z 1970 ih rokiv pochalos masove zastosuvannya netermichnih procesiv V SRSR vpershe rozrobki takih procesiv provodili A N Kabanov N A Olshanskij M M Rikalin V Udmurtiyi vprovadzhennya procesiv elektronno promenevoyi obrobki pochalos z 1964 roku dlya zvaryuvannya visokomicnih ta aktivnih metaliv NDTI Progres razom z specialistami iz Moskvi ta Sankt Peterburga stvorili bagatofunkcionalne obladnannya dlya elektronno promenevogo zvaryuvannya ta obrobki Buli modernizovani ustanovki na Votkinskomu mashinobudivnomu zavodi ta AT Izhmash rozrobleni ta vprovadzheni procesi zvaryuvannya titanovih ta alyuminiyevih splaviv visokomicnoyi stali zvaryuvannya ta lokalnoyi termoobrobki detalej pislya finishnoyi obrobki misto Glazov vprovadzhena tehnologiya elektronno promenevogo zvaryuvannya z lokalnoyu termoobrobkoyu elektronno promenevogo vakuumnoyi pereplavki metaliv visokovirobnichogo obladnannya dlya cih procesiv Na 1995 rik na 6 providnih pidpriyemstvah Udmurtiyi elektronno promeneva obrobka efektivno vikoristovuvalas dlya precizijnogo zvaryuvannya ta lokalnoyi termoobrobki Na zavodi Plastmas misto Izhevsk vprovadzheno elektronno promenevu obrobku Suttyevij vnesok v rozrobku ta vprovadzhennya tehnologiyi ta obladnannya elektronno promenevoyi obrobki na pidpriyemstvah Udmurtiyi vnesli V I Byelov V I Frolov Glazov L V Lyashenko V N Smirnov NDTI Progres V A Zolotov S G Petin Votkinsk Yu N Vdovin Izhevsk Vnesok vchenih Ukrayini u rozvitok tehnologiyiV Ukrayini doslidzhennya elektronno promenevih procesiv i rozroblennya ustatkuvannya dlya takih vidiv elektronno promenevih tehnologij yak zvaryuvannya plavlennya viparovuvannya rozpochato vid seredini 1950 h rr v Instituti elektrozvaryuvannya NAN Ukrayini IEZ 1971 u nomu stvorili pershu laboratornu ustanovku dlya elektronno promenevogo plavlennya O Tihonovskij M Trigub zgodom promislovi ustanovki dekilkoh tipiv z vigotovlennya visokoyakisnih koroziyestijkih ta inshih tipiv stalej titanu buli vprovadzheni na pidpriyemstvah Ukrayini ta nizki inshih krayin M Zhadkevich Ukrayinski vcheni rozrobili procesi elektronno promenevogo viparovuvannya z nastupnoyu kondensaciyeyu na poverhni virobu dlya otrimannya zharostijkih bagatokomponentnih pokrittiv hrom alyuminij itrij splaviv na osnovi nikelyu kobaltu I Malashenko B Movchan Nini na osnovi visokoshvidkisnogo elektronno promenevogo viparovuvannya rechovin i osadzhennya parovoyi fazi u vakuumi rozvivayutsya novi napryami oderzhannya neorganichnih materialiv z amorfnoyu nano i mikrorozmirnoyu zaprogramovanoyu strukturoyu i skladom gibridni tehnologichni procesi sho vklyuchayut ionizaciyu parovogo potoku osnovnogo komponenta abo vvedennya v nogo organichnih dobavok zokrema dlya oderzhannya nano trubok i almazopodibnih struktur B Movchan A Ustinov Pid kerivnictvom B Patona v IEZ vpershe v sviti stvoreno elektronno promeneve ustatkuvannya dlya vikonannya eksperimentiv i remontnih robit na litalnih kosmichnih aparatah D Dudko V Lapchinskij V Paton I Pohodnya Vulkan zvaryuvannya j rizannya 1969 kosmichnij korabel Soyuz 6 Viparnik i Viparnik M nanesennya pokrittiv na metali i sklo 1979 80 orbitalna stanciya Salyut 6 URI rizannya zvaryuvannya payannya ta nanesennya pokrittiv na metali i sklo u vidkritomu kosmichnomu prostori 1984 orbitalna stanciya Salyut 7 U IEZ vidpovidni garmati rozrobleno j dlya beztigelnogo zonnogo plavlennya materialiv diskretnim elektronnim puchkom 1980 90 na kosmichnih aparatah dlya materialoznavchih eksperimentiv zokrema otrimannya nadchistih metaliv i kompozicijnih materialiv vikoristovuvali elektronno promenevi ustanovki Yantar Universal tosho U spivpraci z rosijskim raketno kosmichnim kompleksom Energiya O Markov V Nikitskij v IEZ Yu Asnis O Zagrebelnij V Lapchinskij V Horunov stvoreno nizku novih tehnologij z yednannya j remontu kosmichnih konstrukcij tipiv z yednan ta nadijnih optimalnih konstrukcij elektronno promenevih ustanovok Elektronno promenevi garmati rozrobleni IEZ Yu Lankin O Nazarenko V Shelyagin ta spilno z Institutom elektrodinamiki NAN Ukrayini Yu Drobotov zastosovano yak inzhektori elektronnih promeniv pid chas vivchennya yavish u stratosferi j ionosferi zokrema spilnomu radyansko francuzkomu eksperimenti zi stvorennya shtuchnih polyarnih syajv Araks 1974 75 u geofizichnih eksperimentah Zirnicya Primitki Elektronnopromeneva tehnologiya 9 listopada 2016 u Wayback Machine Ukrayinska radyanska enciklopediya u 12 t gol red M P Bazhan redkol O K Antonov ta in 2 ge vid K Golovna redakciya URE 1974 1985 Elektronno promeneva tehnologiya 10 listopada 2016 u Wayback Machine Enciklopediya suchasnoyi Ukrayini red kol I M Dzyuba ta in NAN Ukrayini NTSh K Institut enciklopedichnih doslidzhen NAN Ukrayini 2001 2023 ISBN 966 02 2074 X DzherelaAbroyan I A Andronov A N Titov A I Fizicheskie osnovy elektronnoj i ionnoj tehnologii M 1984 Udmurtskaya respublika enciklopediya gl red V V Tuganaev Izhevsk Udmurtiya 2000 800 s 20 000 ekz ISBN 5 7659 0732 6 Movchan B A Tihonovskij A L Kurapov Yu A Elektronnoluchevaya plavka i rafinirovanie metallov i splavov K Naukova dumka 1973 238 s Paton B E Trigub N P Ahonin S V Elektronno luchevaya plavka tugoplavkih i vysokoreakcionnyh metallov K Nauk dumka 2008 312 s