Вакуумметр

Вакуумме́тр (вакуум-манометр, електропорожнявомі́р)  (рос. вакуумметр, вакуум-манометр, англ. vacuomanometer, vacuum gauge, vacuummeter, pressure-and-vacuum gage; нім. Vakuummanometer n, Vakuummeter n) — прилад для вимірювання тиску розрідженого газу або для вимірювання глибини вакууму: різниці між атмосферним тиском і тиском розрідженого газу.

Конструкція вакуумметра деформаційного типу

Опис

Вакуумметри використовуються для вимірювання тисків в діапазоні від 760 до 10⁻¹³ мм рт. ст. (10⁵…10⁻¹¹ Па). Універсального методу вимірювань, що охоплює весь цей діапазон, не існує, тому використовуються різноманітні фізичні закономірності, пов'язані (прямо чи опосередковано) з тиском газу.

Поширені теплові вакуумметри, зокрема, з термопарами, дія яких ґрунтується на залежності теплопровідності газу від тиску. Існують вакуумметри рідинні, деформаційні, компресійні, радіометричні, в'язкісні, іонізаційні (альфатрони) тощо. Кожен з цих типів вакуумметрів розрахований на вимірювання тиску у певному діапазоні.

Усі вакуумметри можуть бути розділені на дві групи: абсолютні та відносні.

Абсолютний вакуумметр — вакуумметр, чутливість якого однакова для всіх газів і може бути розрахована за вимірюваними фізичними величинами. Такі прилади вимірюють безпосередньо тиск газу, їх покази не залежать від роду газу. Нижня межа тисків абсолютних вакуумметрів 10⁻⁶ мм рт. ст. (10⁻⁴Па). До них належать рідинні, деформаційні і компресійні вакуумметри.

Відносні вакуумметри вимірюють величини, що є залежними від тиску. Вони градуюються за абсолютними зразковим вакуумметром, їх покази залежать від роду газу. До них належать теплові, іонізаційні, в'язкісні і радіометричні вакуумметри.

Примітки

1. Російсько-український електрорадіотехнічний словник. 30 000 термінів. Укладачі: Ю. Т. Величко. К.: В-во АН УРСР, 1961
2. ДСТУ 3711-98 Засоби вимірювань тиску. Терміни та визначення.
3. ДСТУ 2758-94 Вакуумна техніка. Терміни та визначення.

Джерела

• Мала гірнича енциклопедія : у 3 т. / за ред. В. С. Білецького. — Д. : Донбас, 2004. — Т. 1 : А — К. — 640 с. — .
• Засоби та методи вимірювань неелектричних величин [Текст]: підручник / Є. С. Поліщук [та ін.]. ; ред. Є. С. Поліщук ; Ін-т інноваційних технологій і змісту освіти. — Львів: Бескид Біт, 2008. — 618 с. —
• Храмов А. В. Первинні вимірювальні перетворювачі вимірювальних приладів і автоматичних систем [Текст]: навч.посіб. / А. В. Храмов. — К. : Вища школа, 1998. — 527 с. —